Мы впервые показали журналистам нашу новую разработку – кластерную установку плазмохимического осаждения

✍️ На этапе предварительных испытаний по большинству технологических процессов она показала результаты на уровне зарубежных аналогов. 

На заметку: в периметре Группы развитием направления по созданию отечественной линейки оборудования занимается «Нанотроника». Непосредственным разработчиком установки является НИИ точного машиностроения (НИИТМ).

Что такое плазмохимическое осаждение или ПХО?

Процесс плазмохимического осаждения (ПХО) – это процесс создания тонкой, как правило, диэлектрической пленки на поверхности кремниевой пластины. Этот слой выполняет функцию изолятора для разных составных частей микросхемы.

Что представляет собой установка?

Это опытный образец для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм, который также можно адаптировать для работы с пластинами 200 мм.

☝️ Такая конфигурация позволяет тестировать работу установки на микроэлектронных производствах с учетом действующих технологических процессов и обеспечить своевременную подготовку к переходу на работу на ⌀ 300 мм пластинах.

Кластерная установка состоит из 4 различных технологических модулей, а также транспортной системы для проведения процессов ПХО из газовой фазы.

☝️ Комплектация из отдельных модулей – довольно распространенный вариант в современном мире. Он позволяет гибко конфигурировать оборудование в зависимости от потребностей и мощности производств.

Кто конкуренты?

Похожее оборудование сегодня производит компания Applied Materials (США), которая является основным поставщиком установок ПХО для микроэлектронных производств в мире. В целом, производить такое оборудование может несколько компаний, в основном из США, Китая, Японии, Южной Кореи.

Что дальше?

Сейчас опытный образец проходит финальные этапы доработок, которые мы рассчитываем завершить к осени этого года. Результатом станет полностью готовое к запуску в серийное производство оборудование.

Подробнее https://iz.ru/1856657/andrei-korshunov/miagkie-osadki-v-rossii-sozdali-novuyu-ustanovku-dlya-proizvodstva-chipov