m.netall.ru/news/1449488.html
В Зеленограде создали первый в России фотолитограф с разрешением 350 нанометров
Художник со справкой,
Его уже год назад СДЕЛАЛИ. Сейчас в серию запускают и заказы принимают.
130 нм делают, 65 нм проектируют. (примерно 2 года на каждое уменьшение техпроцесса уйдет)
Но это самый легкий проект.
А вот следующий проект на 28 нм(тестовый образец тоже на 65 нм сделают, но в процессе допилят его до 12 нм ) архиважен — он посложнее будет, там еще много предстоит сделать.
А вот этот 350 нанометровый разгоняли при тестировании сотрудники и он до 320 нм работать может.
Но сам факт что сделали, после 35 лет ничего не деланья — уже большой плюс.