Тестируем первый российский фоторезист
Мы проводим тестирование первого фоторезиста отечественного производства на нашем флагманском предприятии – заводе Микрон.
Партнером компании в этом проекте стал один из крупных производителей химических материалов в Приволжье.
Что такое фоторезист?
Это чувствительный к ультрафиолету полимер, используемый на этапе литографии для создания рисунка будущей схемы на пластине.
Как это работает?
Для получения рисунка фоторезист наносится равномерным тонким слоем на поверхность пластины и высушивается. После этого пластина подвергается воздействию ультрафиолета через специальный фотошаблон с рисунком слоя будущей схемы. В процессе химической обработки рисунок проявляется в слое фоторезиста.
Последующий технологический этап переносят рисунок из фоторезиста в структуру слоя формируемой схемы на кремниевой подложке. Эти этапы повторяются десятки раз, слой за слоем формируя структуру будущей микросхемы.
Почему это важно?
Последние несколько лет мы работаем над замещением сверхчистых материалов и газов иностранного производства продукцией российских компаний. В случае успешного завершения проекта мы получаем надежного поставщика внутри России, способного обеспечить качественный продукт и стабильные поставки.
1956 год. СССР.
Защитный рисунок на заготовках плат получали фотохимически, используя жидкие фоторезисты (их в то время называли фотоэмульсиями) на основе желатины, а позднее на основе поливинилового спирта (ПВС) (спирт поливиниловый 70-100% г/л, хромовокислый аммоний 10-15 г/л). Нанесение фоторезиста на заготовки плат, выравнивание его и подсушка, производилась вращением заготовок на центрифуге. Экспонирование изображения осуществлялось от ртутно-кварцевых ламп с использованием позитива при электрохимическом способе изготовления плат и негатива при способе вытравливания. Проявление изображения выполнялось в теплой воде.
О каком ПЕРВОМ фоторезисте идет речь?
С тем же успехом можно было написать что-то типа: Мы первые в МИРЕ создали фоторезист в РФ.
Формально, никто из мировых патентодержателей, на территории РФ такой фоторезист не создавал, а значит заголовок условно правдив.
Вот только звучит он совсем иначе, с т.з. подаваемой читателю информации.
Нет, конечно, с однгой стороны я рад за Микрон. Полезное дело. Вот только, на сколько я понимаю, пока речь лишь о тестировании образцов, в виде экспериментов. А до массового применения еще как до луны пешком. До реальной постановки на поток дело может и не дойти. Поэтому хвастаться пока нечем.