Список проголосовавших за комментарий "Делают параллельно две разновидности литографов: DUV и EUV. Первый под 350 нм и 180 нм и далее под 90 нм, 350-65нм это примерно 60% от всех используемых процессоров. Второй литограф 28 нм. Техпроцессы от 45 нанометров и тоньше это примерно 10-15% рынка."