Список проголосовавших за комментарий "bozon, физику надо было в школе учить, а не в голову есть. Предел разрешения ограничен дифракцией, зависящей от длины волны, поэтому при переходе с 90нм на 14нм нужно менять оборудование, разрабатывая лазеры с более короткой длиной световой волны, нужно перерабатывать систему контроля правильности позиционирования, менять сопутствующие процессы, уменьшая толщину слоя резиста… А степперы с глубоким ультрафиолетом Интел сам не делает, он их покупает у голландской компании ASML. Это же оборудование используют Самсунг, НВидиа, TSMC. Да и на российском Ангстреме стоит оборудование ASML."